簡介

概倫電子正式推出了全新的先進(jìn)寬帶噪聲分析儀9812HF。先進(jìn)寬帶噪聲測(cè)試儀9812HF，在兼具高精度、寬量程、寬阻抗測(cè)量能力的同時(shí)，將低頻噪聲測(cè)試系統(tǒng)的應(yīng)用頻域拓展到了甚高頻，為半導(dǎo)體行業(yè)先進(jìn)工藝制程優(yōu)化、建模驗(yàn)證設(shè)計(jì)、評(píng)估電路性能等領(lǐng)域高帶寬噪聲測(cè)試與分析需求，提供精準(zhǔn)全面的噪聲數(shù)據(jù)支撐。

產(chǎn)品簡介

概倫電子噪聲測(cè)試系統(tǒng) 981X 系列是全球半導(dǎo)體行業(yè)低頻噪聲測(cè)試的“黃金標(biāo)準(zhǔn)”。先進(jìn)寬帶噪聲分析儀9812HF 采用軟硬件創(chuàng)新設(shè)計(jì)，繼承了該系列高精度、寬量程、寬阻抗測(cè)量能力的同時(shí)，將低頻噪聲測(cè)試系統(tǒng)的應(yīng)用頻域拓展到了甚高頻，旨在滿足半導(dǎo)體行業(yè)在先進(jìn)工藝制程優(yōu)化、建模驗(yàn)證設(shè)計(jì)及電路性能評(píng)估等領(lǐng)域?qū)Ω邘捲肼暅y(cè)試與分析日益增長的需求，提供更為精準(zhǔn)和全面的數(shù)據(jù)支持。

9812HF 內(nèi)置多種應(yīng)用導(dǎo)向的電流和電壓放大器，創(chuàng)新性地引入了高精度甚高頻放大器，可高效實(shí)現(xiàn)噪聲功率譜密度的1/f噪聲、熱噪聲、RTN 噪聲測(cè)量。其領(lǐng)先的復(fù)合設(shè)計(jì)支持隨應(yīng)用智能無感切換，滿足不同電壓噪聲測(cè)試和電流噪聲測(cè)試的多樣化嚴(yán)苛應(yīng)用需求。該設(shè)備能夠適配不同阻抗器件在廣泛工作條件下的噪聲測(cè)試，支持晶圓級(jí)高精度測(cè)試，可滿足不同工藝平臺(tái)下半導(dǎo)體器件和集成電路從時(shí)域到頻域、從超低頻到甚高頻、從數(shù)據(jù)采集到數(shù)據(jù)分析的全面噪聲測(cè)量需求。

另外，9812HF 還可以通過并行測(cè)試架構(gòu)解決方案以及協(xié)同概倫電子半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)等方式，大幅度地提高測(cè)試效率和吞吐量，降低測(cè)試成本，助力用戶加速產(chǎn)品研發(fā)與創(chuàng)新進(jìn)程。

應(yīng)用領(lǐng)域

• MOSFET 與BJT晶體管

• 二極管與PN結(jié)

• FinFET 和 FD-SOI 光子檢測(cè)器件

• 高壓器件和汽車電子

• SiC 和GaN

• 噪聲敏感型集成電路

• 先進(jìn)工藝下的器件噪聲特性

• 亞閾值區(qū)的器件特性

• RTN分析和非破壞性缺陷分析

• 噪聲特性分析與建模

• 熱噪聲分析

• 射頻器件噪聲分析

• 高吞吐量并行噪聲測(cè)試

硬件規(guī)格

高帶寬：

• 最大測(cè)試帶寬：0.03Hz-100MHz

寬量程：

• 最大SMU輸入±100V, ±100mA, 2W

高精度：

最高DC電流精度：10pA

• 系統(tǒng)噪聲電流分辨率：<10^-27A²/Hz

測(cè)試速度：

• 典型1/f噪聲測(cè)試速度可達(dá)20秒/bias

抗阻范圍：

• 阻抗匹配范圍：3Ω-30MΩ

• Gate/Base 電阻多達(dá)16個(gè)選擇

• Drain/Collector 電阻多達(dá) 15 個(gè)選擇

系統(tǒng)參數(shù)：

• 電壓放大器：0.03-10MHz, 0.65nV/√ Hz (@5kHz)

• 電流放大器：0.03-1MHz, 0.7pA/ √Hz (@5kHz)

• 寬帶電流放大器：0.03-10MHz, 5pA/ √Hz (@1MHz)

• 高精度電流放大器：0.03-20KHz, 60fA/ √Hz (@5KHz)

• 甚高頻電流放大器：100KHz-100MHz， 8.66pA/ √Hz (@1MHz)

• 可編程偏置濾波器 、ESD保護(hù)

• 內(nèi)置16位DSA

• 支持多臺(tái)并行測(cè)試

軟件規(guī)格

• 9812HF系列內(nèi)置NoiseProPlus 測(cè)量軟件，具備強(qiáng)大的噪聲測(cè)試和分析功能。該軟件的主要功能包括：

• 軟件界面友好，易于操作，可同時(shí)滿足測(cè)試控制、圖形顯示和數(shù)據(jù)分析需求

• 支持1/f 噪聲和RTN 噪聲測(cè)試，并具有專業(yè)的數(shù)據(jù)分析功能

• 測(cè)試結(jié)果可導(dǎo)出供用戶后續(xù)分析研究，支持測(cè)試數(shù)據(jù)直接導(dǎo)入概倫電子的先進(jìn)器件建模平臺(tái)BSIMProPlus 和 一站式射頻建模平臺(tái)MeQLab，進(jìn)行噪聲模型提取和特性分析

• 支持多種模式、多種器件在不同偏置下的手動(dòng)/自動(dòng)測(cè)試

• 支持驅(qū)動(dòng)第三方測(cè)試儀器

• 支持驅(qū)動(dòng)第三方探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)手動(dòng)/半自動(dòng)/全自動(dòng)測(cè)試

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

系統(tǒng)先進(jìn)

• 領(lǐng)先的電流和電壓放大器復(fù)合設(shè)計(jì)，支持隨應(yīng)用智能無感切換，引入的甚高頻放大器本底噪聲低至8.66pA/ √Hz (@1MHz)

• 創(chuàng)新地將卓越的性能、帶寬和可靠性融為一體，使系統(tǒng)最大帶寬達(dá)到0.03Hz-100MHz，輕松滿足各種工藝平臺(tái)下半導(dǎo)體器件和集成電路的嚴(yán)苛噪聲測(cè)試需求

性能優(yōu)異

• 精度高，系統(tǒng)電流噪聲分辨率可達(dá)10^-27 A²/Hz

• 速度快，典型1/f 噪聲測(cè)試在一個(gè)偏置條件下僅需20 秒，可在短時(shí)間內(nèi)獲得精確可信的測(cè)試數(shù)據(jù)

高效便捷

• 支持1/f并行測(cè)試和RTN并行測(cè)試，提高測(cè)試效率

• 內(nèi)置豐富的測(cè)試應(yīng)用庫，操作簡單，可輕松完成應(yīng)用測(cè)試

• 具備強(qiáng)大的測(cè)試分析和數(shù)據(jù)管理能力，直觀易用

應(yīng)用廣泛

• 寬電壓、寬電流、寬阻抗測(cè)量范圍，支持晶圓級(jí)高精度和寬帶寬測(cè)試

• 可廣泛適用于從成熟制程到先進(jìn)制程下的工藝質(zhì)量評(píng)估，器件SPICE 模型開發(fā)，噪聲敏感型集成電路設(shè)計(jì)和驗(yàn)證等應(yīng)用，特別是甚高頻范圍的熱噪聲評(píng)估和射頻器件的噪聲特性評(píng)估

應(yīng)用實(shí)例

1/f 噪聲測(cè)試，100MHz帶寬

熱噪聲測(cè)試

1/f噪聲測(cè)試，電流功率譜

RTN噪聲測(cè)試

1/f 噪聲測(cè)試

1/f 噪聲測(cè)試，電壓功率譜