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標簽 微機電系統(tǒng)技術(shù)社區(qū)

微機電系統(tǒng)

  微機電系統(tǒng)是指可批量制作的,集微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是隨著半導體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的。MEMS的特點是:   1)微型化:MEMS器件體積小、重量輕、耗能低、慣性小、諧振頻率高、響應(yīng)時間短。   2)以硅為主要材料,機械電器性能優(yōu)良:硅的強度、硬度和楊氏模量與鐵相當,密度類似鋁,熱傳導率接近鉬和鎢。查看更多>>

  • 微機電系統(tǒng)資訊

柔性集成電路、微機電系統(tǒng)與金屬氧化物:破解全新技術(shù)難題

Pickering推出新款基于MEMS的射頻開關(guān)模塊

Pickering MEMS 2023-06-27

滿滿的知識點|關(guān)于射頻微機電系統(tǒng)開關(guān)的那些事兒

微機電系統(tǒng)EMC達到99%改進幅度

詳解微機電系統(tǒng),總有你不知道的點

MEMS是什么?看完這篇就懂了

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