西門子法
改良西門子法
多晶硅生產(chǎn)的西門子工藝,其原理就是在1100℃左右的高純硅芯上用高純氫還原高純?nèi)葰涔?,生成多晶硅沉積在硅芯上。改良西門子工藝是在傳統(tǒng)西門子工藝的基礎(chǔ)上,同時具備節(jié)能、降耗、回收利用生產(chǎn)過程中伴隨產(chǎn)生的大量H2、HCI、SiCI4等副產(chǎn)物以及大量副產(chǎn)熱能的配套工藝。目前世界上絕大部分廠家均采用改良西門子法生產(chǎn)多晶硅。
改良西門子法相對于傳統(tǒng)西門子法的優(yōu)點主要在于:
1)節(jié)能:
由于改良西門子法采用多對棒、大直徑還原爐,可有效降低還原爐消耗的電能;
2)降低物耗:改良西門子法對還原尾氣進行了有效的回收。查看更多>>