EEPW
技術(shù)應(yīng)用
MEMS技術(shù)是一種制造技術(shù),MEMS技術(shù)把電子和機(jī)械特性結(jié)合了起來,可以同時(shí)執(zhí)行物理、化學(xué)、生物等方面的功能,因?yàn)樗芡瑫r(shí)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)和電作用。它實(shí)質(zhì)上是終極的片上系統(tǒng),是科學(xué)和技術(shù)的終極融合,而且生物也可以與之兼容?! ?。微型化:MEMS器件體積小、重量輕、耗能低、慣性小、諧振頻率高、響應(yīng)時(shí)間短。查看更多>>
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