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EUV

在半導(dǎo)體行業(yè),EUV一般指EUV光刻,即極紫外光刻。 極紫外光刻(英語(yǔ):Extreme ultra-violet,也稱EUV或EUVL)是一種使用極紫外(EUV)波長(zhǎng)的光刻技術(shù)。 EUV光刻采用波長(zhǎng)為10-14納米的極紫外光作為光源,可使曝光波長(zhǎng)一下子降到13。5nm,它能夠把光刻技術(shù)擴(kuò)展到32nm以下的特征尺寸。查看更多>>

  • EUV資訊

臺(tái)積電暫緩引入High-NA EUV,先進(jìn)制程競(jìng)爭(zhēng)不只是設(shè)備選擇

ASML最強(qiáng)EUV碰壁! 臺(tái)積電喊「太貴」真實(shí)盤算曝光

ASML EUV 2026-04-24

ASML意外大裁員的背后是對(duì)半導(dǎo)體發(fā)展失衡的擔(dān)憂

ASML 裁員 2026-03-20

EUV光刻機(jī)將成為算力擴(kuò)張的下一個(gè)瓶頸

EUV 光刻機(jī) 2026-03-17

阿斯麥宣布裁員 1700 名管理人員七周后,員工仍不知情

阿斯麥 ASML 2026-03-16

IMEC研發(fā)新型曝光后烘烤工藝,提速EUV設(shè)備并提升先進(jìn)芯片產(chǎn)能

IMEC 曝光后烘烤 2026-02-28

氣體控制技術(shù)提升極紫外光刻(EUV)晶圓產(chǎn)能

阿斯麥ASML公布EUV光源技術(shù)突破,2030年芯片產(chǎn)能或提升50%

阿斯麥 ASML 2026-02-24

阿斯麥將極紫外光刻機(jī)光源功率提升至1000瓦,助力提升芯片良率、降低制造成本

國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備加速崛起

ASML計(jì)劃裁員4%,簡(jiǎn)化技術(shù)部門內(nèi)的決策流程

ASML DUV 2026-01-29

三星首次引入紫外層薄膜是在美國(guó)泰勒工廠

三星 紫外層薄膜 2026-01-26

中國(guó)EUV技術(shù)實(shí)現(xiàn)突破,半導(dǎo)體競(jìng)賽格局生變

EUV 半導(dǎo)體 2025-12-25

據(jù)報(bào)道,中國(guó)利用較舊的ASML組件制造EUV原型機(jī),Eyes 2028芯片制造

ASML EUV 2025-12-19

ASML CEO警告:過(guò)度封鎖或加速中國(guó)技術(shù)自主

ASML DUV 2025-12-16

使用電子噪聲和抗蝕劑模糊模型預(yù)測(cè)隨機(jī)EUV缺陷密度

電子噪聲 抗蝕劑 2025-11-10

4億美元太貴!臺(tái)積電仍拒絕購(gòu)買ASML的High-NA EUV設(shè)備

臺(tái)積電 ASML 2025-10-23

ASML警告中國(guó)銷量下降或加劇26年增長(zhǎng)擔(dān)憂

ASML EUV 2025-10-16

三星購(gòu)買了兩款A(yù)SML高數(shù)值孔值EUV工具

三星 ASML 2025-10-16

ASML警告明年來(lái)自中國(guó)的需求可能大幅下滑

臺(tái)積電加速自研EUV光罩保護(hù)膜,單片晶圓生產(chǎn)效率提升了4.5倍

臺(tái)積電 EUV 2025-09-23

三星據(jù)報(bào)道首次外包光掩模,著眼于新的 EUV 光掩模技術(shù)

EUV 光刻機(jī) 2025-09-18

臺(tái)積電重新利用舊晶圓廠,將 EUV 薄膜生產(chǎn)引入內(nèi)部

ASML 和 SK hynix 在韓國(guó)的工廠組裝了業(yè)界首個(gè)“商用”High NA EUV 系統(tǒng)

EUV 光刻機(jī) 2025-09-04

美國(guó)、日本領(lǐng)導(dǎo)政府支持的光刻機(jī)(EUV)推廣,韓國(guó)據(jù)報(bào)道落后

EUV 光刻機(jī) 2025-07-02

半導(dǎo)體巨頭對(duì)high-NA EUV態(tài)度分化

臺(tái)積電重申1.4nm級(jí)工藝技術(shù)不需要高數(shù)值孔徑EUV

臺(tái)積電 1.4nm 2025-05-29

臺(tái)積電保持觀望 ASML最新EUV機(jī)臺(tái)只賣了5臺(tái)

臺(tái)積電 ASML 2025-05-29

三星外包低端光掩模,將資源集中在ArF和EUV上

三星 低端光掩模 2025-05-15

三星被曝將首次外包芯片“光掩?!鄙a(chǎn),聚焦ArF和EUV等先進(jìn)技術(shù)

三星 外包芯片 2025-05-14

ASML計(jì)劃在荷蘭大規(guī)模擴(kuò)張,助力EUV設(shè)備交付

EUV 光刻機(jī) 2025-05-09

ASM宣布將啟動(dòng)美國(guó)本土生產(chǎn)以應(yīng)對(duì)關(guān)稅壓力

ASML EUV 2025-05-06

臺(tái)積電避免使用高NA EUV光刻技術(shù)

臺(tái)積電 高NA 2025-04-30

地都賣了,三星電子與ASML半導(dǎo)體研發(fā)合作還能繼續(xù)嗎?

三星電子 ASML 2025-04-23

前英特爾CEO加入光刻技術(shù)初創(chuàng)公司

英特爾 EUV 2025-04-15

三星已組建專注于1nm芯片開發(fā)的團(tuán)隊(duì) 量產(chǎn)目標(biāo)定于2029年

三星 1nm 2025-04-10

ASML計(jì)劃在日本擴(kuò)增五倍EUV芯片工具員工

ASML EUV 2025-04-03

EUV的未來(lái)看起來(lái)更加光明

EUV AI芯片 2025-03-18

芯片巨頭,盯上EUV

三星電子 EUV 2025-03-05

英特爾:ASML首批兩臺(tái)High-NA EUV設(shè)備已投產(chǎn)

英特爾 ASML 2025-02-26
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